這項突破性技術使生命科學和醫(yī)療保健領域實現(xiàn)可擴展、高精度的生物傳感器應用成為可能

比利時魯汶2025年12月10日 /美通社/ --

• Imec首次成功在300毫米晶圓上采用EUV光刻技術制造晶圓級固態(tài)納米孔。 這項創(chuàng)新將納米孔技術從實驗室規(guī)模的概念轉化為可擴展的平臺，適用于生物傳感、基因組學和蛋白質組學領域。
• 納米孔技術被譽為基因組學和蛋白質組學的變革者，但迄今為止，固態(tài)納米孔因存在變異性和集成難題，始終未能實現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)。 Imec的突破為高通量、兼容CMOS的生物傳感器陣列鋪平了道路，有望推動個性化醫(yī)療、快速診斷和分子數(shù)據(jù)存儲的開發(fā)。
• 其采用EUV光刻技術在300毫米晶圓上實現(xiàn)了晶圓級制造，制備出尺寸小至約10納米的納米孔，且在整個晶圓上具有高度均勻性。 該制造工藝有潛力實現(xiàn)小于5納米孔徑，隨著工藝集成技術的進一步改進，有望取得更大突破。 電氣和生物分子易位表征顯示其信噪比高達6.2。
• "Imec具有實現(xiàn)這一飛躍的獨特優(yōu)勢。 我們可將傳統(tǒng)上用于存儲和邏輯領域的EUV光刻技術應用于生命科學領域。 利用我們的光刻基礎設施，我們已證明能以分子傳感所需的精度大規(guī)模制造固態(tài)納米孔，"imec的第一作者及研發(fā)項目經(jīng)理Ashesh Ray Chaudhuri表示， "這為醫(yī)療保健及其他領域的高通量生物傳感器陣列創(chuàng)造了可能。"

關于imec
Imec是先進半導體技術領域世界領先的研究和創(chuàng)新中心。 Imec利用一流的研發(fā)基礎設施和6,500多名員工的專業(yè)知識，推動半導體和系統(tǒng)擴展、人工智能、硅光子學、連接和傳感領域的創(chuàng)新。

Imec的先進研究為各行各業(yè)的突破提供支持，包括計算機、健康、汽車、能源、信息娛樂、工業(yè)、農(nóng)業(yè)食品生產(chǎn)和安全。 通過IC-Link平臺，imec為企業(yè)提供芯片研發(fā)全流程指導——從初始概念到大規(guī)模量產(chǎn)，從而打造定制化解決方案，精準滿足最前沿的設計與生產(chǎn)需求。

Imec與半導體價值鏈的全球領先企業(yè)以及佛蘭德斯地區(qū)和全球的科技企業(yè)、初創(chuàng)企業(yè)、學術界和研究機構開展合作。 Imec總部位于比利時魯汶，在比利時、歐洲各地和美國設有研究設施，并在三大洲設有代表處。 2024年，imec報告營收10.34億歐元。 如需了解更多信息，請訪問www.imec-int.com

完整新聞稿：https://www.imec-int.com/en/press/imec-demonstrates-first-wafer-scale-fabrication-solid-state-nanopores-using-euv-lithography